Dieses und vieles andere auch, ist bei der KOMA-Script-Klasse scrartcl an Stelle von article sehr einfach konfigurierbar:
\documentclass[11pt,a4paper]{scrartcl}
\setcounter{tocdepth}{5}
\setcounter{secnumdepth}{5}
\RedeclareSectionCommand[indent=0pt]{subparagraph}
\begin{document}
\paragraph{Unterunterunterueberschrift}
\subparagraph{Unterunterunterunterueberschrift}
Beispieltext, Beispieltext, Beispieltext, usw.
\end{document}
Und wenn du für \paragraph und \subparagraph keine Spitzmarken, sondern eigene Zeilen haben willst, dann geht das ebenfalls ganz einfach:
\documentclass[11pt,a4paper]{scrartcl}
\setcounter{tocdepth}{5}
\setcounter{secnumdepth}{5}
\RedeclareSectionCommand[indent=0pt]{subparagraph}
\RedeclareSectionCommands[beforeskip=-3.25ex plus-1ex minus -.2ex,%
afterskip=1\baselineskip plus 1ex minus .5ex]{paragraph,subparagraph}
\begin{document}
\paragraph{Unterunterunterueberschrift}
\subparagraph{Unterunterunterunterueberschrift}
Beispieltext, Beispieltext, Beispieltext, usw.
\end{document}
Mit \ \\ sollte man hingegen nicht rummurksen, weil man sich damit ganz schnell einen Seitenumbruch an Stellen einhandelt, an denen man keinen haben will, und außerdem den Absatzumbruch stört.
Wer auf Verwendung der Standardklasse besteht, kann ein Paket wie
titlesec bemühen.