Mir geht es bezüglich der Unklarheit Deiner Frage wie Elke. Ich halte es aber auch für möglich, dass du eventuell eher willst, das im Kopf solange das Kapitel steht, bis ein erster Abschnitt auftritt, der dann so lange im Kopf stehen soll, bis ein erster Unterabschnitt auftritt, also so etwas:
\documentclass[12pt,oneside]{scrreprt}
\usepackage[latin1]{inputenc}
\usepackage[ngerman,english]{babel}
\usepackage[left=6cm,right=2cm, top=3cm, bottom=3cm]{geometry} %layout
\usepackage[automark,headsepline]{scrlayer-scrpage}
\pagestyle{scrheadings}
\automark{chapter}
\automark*{section}
\automark*{subsection}
\ihead{\headmark}
\chead{}
\ohead{}
\usepackage{mwe}
\begin{document}
\chapter{ABC}
\lipsum[1-10]
\section{Hallo}
\lipsum[1-10]
\subsection{Hilfe}
\lipsum
\subsection{\protect\LaTeX}
\lipsum
\blinddocument
\end{document}
oder
\documentclass[12pt,oneside]{scrreprt}
\usepackage[latin1]{inputenc}
\usepackage[ngerman,english]{babel}
\usepackage[left=6cm,right=2cm, top=3cm, bottom=3cm]{geometry} %layout
\usepackage[automark,headsepline]{scrlayer-scrpage}
\pagestyle{scrheadings}
\automark{chapter}
\automark*{section}
\automark*{subsection}
\ihead{\rightbotmark}
\chead{}
\ohead{}
\usepackage{mwe}
\begin{document}
\chapter{ABC}
\lipsum[1-10]
\section{Hallo}
\lipsum[1-10]
\subsection{Hilfe}
\lipsum
\subsection{\protect\LaTeX}
\lipsum
\blinddocument
\end{document}
Für \rightbotmark braucht man ein möglichst aktuelles KOMA-Script (AFAIR min. Version 3.16).