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\newcommand\X{\mathrm{X}}
\newcommand\e{\mathrm{e}}

\e^- + \X& \rightarrow \X^+ + 2 \e^- \\

\mathrm{e^- + X}& \mathrm{{}\rightarrow X^+ + 2 e^-} \\ 

\mathrm{e^- + X}& \rightarrow \mathrm{X^+ + 2 e^-} \\ 

 \begin{align}
\mathrm{X^\ast + X + X \rightarrow  X_2^\ast + X} \ \ \ \ \ \ \  \cite{Kur2001}
\end{align}
%ref Kurunczi Excimer formation in high pressure microhollow cathode...
wobei $\mathrm{X^\ast}$ das angeregte Edelgasatom bezeichnet.

Dieses angeregte Edelgasatom kann auf folgenden Wegen entstehen:

\begin{itemize}

\item 1. \\
\begin{align}
\mathrm{e^- + X \rightarrow X^+ + 2 e^-} \\
\mathrm{X^+ + e^- \rightarrow X_2^+ + X} \\
\mathrm{X_2^+ + e^- \rightarrow X^\ast + X} \\
\end{align}


\item 2. \\
\begin{align}
\mathrm{e^- + X \rightarrow X^\ast + e^-}
\end{align}

\end{itemize}